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壓力變送器的最高精度能夠達(dá)到量程的萬(wàn)分之五,因此其零點(diǎn)漂移是不能忽略的。單晶硅類(lèi)壓力傳感器因精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),對(duì)溫度的變化較其它類(lèi)傳感器異常敏感。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)得出單晶硅的導(dǎo)電能力隨溫度的增加按指數(shù)規(guī)律增長(zhǎng),因此由單晶硅制作的壓力變送器受溫度影響后,傳感器的輸出信號(hào)將產(chǎn)生零點(diǎn)溫度漂移。
零點(diǎn)溫度漂移:理想情況下單晶硅上的組成惠斯頓電橋的4個(gè)擴(kuò)散電阻阻值是嚴(yán)格相等的,因而在電橋處于平衡狀態(tài)時(shí),電橋的輸出電壓為零。但在傳感器加工過(guò)程中,由于被連接成惠斯頓電橋的四個(gè)擴(kuò)散電阻阻值不可能控制到完全相等,所以當(dāng)壓力為零時(shí),惠斯頓電橋的輸出不為零,這種零點(diǎn)輸出將隨溫度的變化而產(chǎn)生漂移,即產(chǎn)生零點(diǎn)溫度漂移。
針對(duì)零點(diǎn)溫度漂移,壓力變送器在設(shè)計(jì)時(shí)采用溫度補(bǔ)償設(shè)計(jì),減少溫度對(duì)傳感器的精度影響,在生產(chǎn)時(shí)采用多點(diǎn)溫度和多點(diǎn)壓力組合標(biāo)定的形式得出溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)矩陣,并在傳感器內(nèi)放置溫度傳感器,使在現(xiàn)場(chǎng)使用時(shí)實(shí)時(shí)采集過(guò)程溫度,然后利用三維數(shù)據(jù)擬合的方式,進(jìn)行軟件溫度補(bǔ)償,以較少溫度對(duì)零點(diǎn)的影響。